13:45 〜 14:00
〇長谷川 将希1、堤 隆嘉1、谷出 敦1,2、近藤 博基1、関根 誠1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大、2.SCREENホールディングス)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年3月14日(土) 13:45 〜 17:30 A305 (6-305)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:45 〜 14:00
〇長谷川 将希1、堤 隆嘉1、谷出 敦1,2、近藤 博基1、関根 誠1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大、2.SCREENホールディングス)
14:00 〜 14:15
〇RengieMark Domincel Mailig1、Yuichiro Aruga1、Min Gee Kim1、Shun-ichiro Ohmi1 (1.Tokyo Tech)
14:15 〜 14:30
〇森 雅弘1、富取 正彦1、増田 貴史1 (1.北陸先端大)
14:30 〜 14:45
〇(M2)浜中 恵一1、谷口 大介1、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)
14:45 〜 15:00
〇千賀 一輝1、柴山 茂久1、中塚 理1,2 (1.名大院工、2.名古屋大未来研)
15:00 〜 15:15
〇SitiRahmah Aid1,2、NurNadhirah MohamadRashid1、UmarAbdul Aziz1、NurfarhanaArissa Jonny1、Hiroshi Ikenoue2、Anthony Centeno3 (1.UTM、2.Kyushu Univ.、3.XJTLU)
15:15 〜 15:30
〇今城 利文1,2、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大院 数理物質、2.学振特別研究員)
15:45 〜 16:00
〇山下 拓真1、阿部 成海1、熊谷 祐希1、尾花 宏樹1、濱田 樹2、吉井 稜2、久保田 弘1、橋新 剛1、吉岡 昌雄2 (1.熊大大院、2.熊大)
16:00 〜 16:15
〇嶋田 倫太郎1、神田 健介1、藤田 孝之1、前中 一介1 (1.兵庫県立大学)
16:15 〜 16:30
〇村上 修一1、吉村 武2、金岡 祐介1、佐藤 和郎1、津田 和城1、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.大阪府大工)
16:30 〜 16:45
〇(M2)渥美 賢1、古賀 達也1、市川 崇志1、山根 大輔1、飯田 慎一2、伊藤 浩之1、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1 (1.東工大、2.NTT-AT)
16:45 〜 17:00
〇市川 崇志1、渥美 賢1、古賀 達也1、山根 大輔1、飯田 慎一2、伊藤 浩之1、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1 (1.東工大、2.NTT-AT)
17:00 〜 17:15
〇天本 百合奈1、赤坂 俊輔1、神野 伊策2 (1.ローム、2.神戸大学)
17:15 〜 17:30
〇(M1)Yiming Jiang1、Yu-An Chien1、Chun-Yi Chen1、Tso-Fu Mark Chang1、Masato Sone1 (1.Tokyo Institute of Technology)
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予稿集DVDに同封している参加票裏面にも記載しております。
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