[12a-A202-1~7] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A202-7] パルス光伝導法によるシリコン酸化膜中の金属汚染評価

〇尾花 宏樹¹、阿部 成海¹、熊谷 祐希¹、山下 拓真¹、小笠原 稜²、濱田 樹²、宮内 将成²、吉井 稜²、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄² (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード：半導体