[12a-A301-1~5] 多様な安定相のエンジニアリングによる多元系材料開発の新展開 － 未来材料開拓イニシアチブ ～環境･エネルギー材料の未来 ～ －

[12a-A301-5] 多様な安定相の熱的安定性: (Al_xGa_1-x)₂O₃を例に

〇(D)神野 莉衣奈¹、金子 健太郎¹、宇野 和行²、藤田 静雄¹ (1.京大院工、2.和歌山大システム工)

キーワード：酸化アルミニウムガリウム、超ワイドバンドギャップ材料、結晶相転位

酸化物は多様な安定相を持つ代表的な物質である。例えばGa₂O₃は、α,β,γ,δ,εと表記される多様な安定相を持つ。最安定相はβ相であるが、ミストCVD法を用いると、α相/サファイア、β相/YSZ、ε相/AlNなど、基板の結晶構造に引き込まれて最安定相ではない多様な安定相のGa₂O₃および(Al,Ga)₂O₃が成長する。本講演では、ミストCVD法を用いた多様な安定相の成長の制御にていて、さらにα-(Al,Ga)₂O₃を例にとり「安定相の熱安定性」について議論する。