[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-35] THzエリプソメトリーを用いたサファイア上グラフェンの電気特性評価

〇(B)鈴木 拓輝¹、佐藤 希一¹、藤井 高志^1,2、毛利 真一郎¹、荒木 努¹、岩本 敏志²、佐藤 幸徳²、上田 悠貴³、成塚 重弥³ (1.立命館大、2.日邦プレシジョン、3.名城大)

キーワード：グラフェン、ナノカーボン、テラヘルツ

我々のグループでは、グラフェンの電気特性(シート抵抗、キャリア濃度、移動度)を電極なしで測定する技術開発を行っている。現在、金属上グラフェンの測定技術に対する期待が高くなっている。この際、基板に依存しない測定方法である反射分光解析が必要となる。今回は、反射分光解析手法であるTHz-TDSEを用いて、グラフェンの電気特性を電極なしで測定可能かr面サファイア上に成長したグラフェンで検討した。