[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-55] 非対称台形サスペンデッドグラフェンチャネルデバイスの作製と評価

〇(M2)中野 颯也¹、リウ ファヨン¹、ハック マイーシャ¹、マノハラン ムルガナタン¹、水田 博¹ (1.北陸先端科学技術大学院大学)

キーワード：サスペンデッドグラフェン、非対称構造、ナノデバイス作製

PnCのナノ孔アレイの部分的に導入した構造や、サスペンデッドグラフェンを台形としたチャネル構造など、空間的非対称性をもつグラフェン構造によって熱の整流性発現を狙う研究も報告されている。本報告では、台形の上辺と下辺の幅の異なる台形サスペンデッドグラフェン素子を作製し、その第一段階として基本電気特性の評価を行った。