[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-17] 誘導加熱蒸発源の効率化と鉄内包フラーレン合成実験への適応

〇(M2)大森 貴之¹、奥村 一起¹、久保 渉¹、針﨑 修平¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：誘導加熱、絶縁トランス、電子サイクロトロン共鳴イオン源

我々は ,.ECRIS において低動作圧力でのイオン生成をする為に , ガスの発生や不純物の混入が極めて少ない蒸発源の開発が要請されている . そ こ で , 我々は非接触で固体材料を直接加熱できるため不純物ガスソースが発生しにくく , 高純度の材料蒸気が取り出せる誘導加熱 (Induction Heating : IH) 方式に着目し現在まで開発を行っている.今回は蒸発源系の改良をおこなったのでそれを紹介する．