[12p-A403-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[12p-A403-11] 原子層堆積法を用いて成膜したシリコン酸化膜の物性評価

〇(D)薄 謙志郎^1,2、望月 敏光²、棚橋 克人²、高遠 秀尚²、山口 克彦¹ (1.福島大、2.産総研)

キーワード：原子層堆積法