[12p-A403-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[12p-A403-15] 大規模量子分子動力学シミュレーションを用いたa-Si/c-Si ヘテロ接合界面分析

〇片山 博貴¹、松本 光弘¹、高濱 豪¹、寺川 朗¹ (1.パナソニック)

キーワード：シリコン、ヘテロ接合太陽電池、シミュレーション

当社はSi系太陽電池で最も高い変換効率が得られるシリコンヘテロ接合型太陽電池技術を核として有すると共に、この技術に計算技術を新たに加えることで、革新的なヘテロ接合界面制御技術の開発を進めてきた。本講演では、(100)面、(111)面のc-Si基板表面上におけるa-Si膜堆積過程をシミュレーションし、ヘテロ接合界面状態について解析した成果を報告する。