2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

11 超伝導 » 11 超伝導(ポスター)

[12p-PA3-1~33] 11 超伝導

2020年3月12日(木) 13:30 〜 15:30 PA3 (第3体育館)

13:30 〜 15:30

[12p-PA3-26] Characterization of Superconducting TiN Thin Films Properties Developed at Different Substrate Temperature

Wei Qiu1、Hirotaka Terai1 (1.NICT)

キーワード:Superconducting qubit, Titanium nitride, DC magnetron sputtering