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[13a-A401-8] グラフェンバイオセンサにおけるゲートリーク電流低減検討
キーワード:グラフェン、バイオセンサ、GFET
グラフェン電界効果トランジスタ(GFET)を用いたバイオセンサの測定誤差の原因の一つにゲートリーク電流があり、この抑制にためにGFET基板上にインクジェット描画による絶縁樹脂の塗布を行った。この結果、絶縁樹脂の重ね塗りによる膜厚増とともにリーク電流が抑制される傾向があり、絶縁樹脂の塗布前後で、リーク電流は数十分の一まで低減されることが確認できた。