9:15 AM - 9:30 AM
[13a-B410-2] Investigation of mechanisms of damage generation during femtosecond laser drilling of glass
Keywords:femtosecond laser, glass, imaging
ガラスのフェムト秒レーザ加工時に生じるダメージの形成要因として,衝撃波の影響や励起電子の影響が広範に議論されているものの,形成メカニズムは未だ詳細には示されていない.本研究では,レーザ光照射直後の励起電子の挙動と衝撃波の挙動がレーザパルス照射毎に変化していく様子を,ポンプ・プローブ法と高速度カメラを組み合わせることにより観察した.観察された高速現象をシミュレーションで再現することにより,ダメージ形成メカニズムを調査した.