The 67th JSAP Spring Meeting 2020

Presentation information

Oral presentation

3 Optics and Photonics » 3.7 Laser processing

[13a-B410-1~9] 3.7 Laser processing

Fri. Mar 13, 2020 9:00 AM - 11:30 AM B410 (2-410)

Aiko Narazaki(AIST), Yusuke Ito(Univ. Tokyo)

9:15 AM - 9:30 AM

[13a-B410-2] Investigation of mechanisms of damage generation during femtosecond laser drilling of glass

Yusuke Ito1, Keisuke Nagato1, Naohiko Sugita1 (1.Univ. Tokyo)

Keywords:femtosecond laser, glass, imaging

ガラスのフェムト秒レーザ加工時に生じるダメージの形成要因として,衝撃波の影響や励起電子の影響が広範に議論されているものの,形成メカニズムは未だ詳細には示されていない.本研究では,レーザ光照射直後の励起電子の挙動と衝撃波の挙動がレーザパルス照射毎に変化していく様子を,ポンプ・プローブ法と高速度カメラを組み合わせることにより観察した.観察された高速現象をシミュレーションで再現することにより,ダメージ形成メカニズムを調査した.