[13a-B410-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[13a-B410-2] ガラスのフェムト秒レーザ穴あけ加工におけるダメージ形成メカニズムの調査

〇伊藤 佑介¹、長藤 圭介¹、杉田 直彦¹ (1.東大院工)

キーワード：フェムト秒レーザ、ガラス、イメージング

ガラスのフェムト秒レーザ加工時に生じるダメージの形成要因として，衝撃波の影響や励起電子の影響が広範に議論されているものの，形成メカニズムは未だ詳細には示されていない．本研究では，レーザ光照射直後の励起電子の挙動と衝撃波の挙動がレーザパルス照射毎に変化していく様子を，ポンプ・プローブ法と高速度カメラを組み合わせることにより観察した．観察された高速現象をシミュレーションで再現することにより，ダメージ形成メカニズムを調査した．