[13a-B410-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[13a-B410-7] ArFレーザー照射によりシリコーンゴム表面に作製された微細隆起構造の成長速度

〇横山 岬¹、吉田 剛¹、松木 伸行²、大越 昌幸¹ (1.防衛大電気電子、2.神大工)

キーワード：ArFエキシマレーザー、シリコーンゴム、微細隆起構造

これまで我々は，ArFレーザーを用いたシリコーンゴム表面の光化学的改質により, その表面に超撥水性を発現する微細隆起構造を作製可能であることを報告した。隆起構造は様々なレーザーパラメータに依存することが分かっている一方で，その高さが決定されるメカニズムについては未解明な点が多い。発表では, レーザーフルエンスごとの隆起構造成長過程を比較し, 隆起構造の高さが決定されるメカニズムについて議論する。