[13a-D519-1~10] 9.1 誘電材料・誘電体

[13a-D519-10] [講演奨励賞受賞記念講演] レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス

〇木下 紗里那^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：圧電トランス、圧電薄膜、ScAlN

無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。その方法として周囲の電波から発電する方法が考えられるが、電波強度が微弱でレクテナを効率的に駆動できない。そこで本研究では、入力電波の電圧を昇圧する小型素子として、ScAlN圧電薄膜の多層構造を用いた圧電トランスを提案する。従来のHBAR型と比較し狭帯域駆動が可能となるSMR型の作製を行った。