2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[13a-PA2-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

2020年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 PA2 (第3体育館)

09:30 〜 11:30

[13a-PA2-10] 印刷成膜用強誘電体微小粒子合成に関する検討

山口 正樹1,2、山﨑 美沙1 (1.芝浦工大院理工、2.芝浦工大RCGI)

キーワード:強誘電体、水熱合成、微小粒子

強誘電体薄膜の直接パターニングを実現する手法として,我々はインクジェットプリント法を提案している.本報告では,塗布インク中に分散させる強誘電体微粒子合成に関する検討結果について述べる.