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[13a-PA2-4] スパッタ法によるLiイオン伝導性固体電解質薄膜の作製と評価
キーワード:固体電解質、Liイオン、薄膜
本研究では,大気中での安定性に優れるプロブスカイト型酸化物に着目した.最近,ペロブスカイト型酸化物であるSrTiO3(STO)基板を用いたLi系酸化物薄膜作製において,成膜中にSTO中にLiが拡散するという報告があった.この報告を受け,私たちは,LiはSTO中を容易に伝導する可能性があるのではないかと考え,本研究では実際にLiを添加したSTO薄膜を作製し,Li添加の伝導性に与える効果についての評価を行った.