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[13p-A402-10] 界面制御に基づく次世代エレクトロセラミックスの提案
キーワード:誘電体、エレクトロセラミックス、キャパシタ
電子デバイスに用いられるセラミックスの微構造は既に数100ナノオーダーに至り、その微細化は留まるところを知らない。しかし数100ナノオーダーの微構造には強誘電ドメインサイズ効果などネガティブな効果の問題点が現れ、現在の材料の限界が見えつつある。代表的な誘電体材料であるチタン酸バリウム(BaTiO3、BT)はその優れた誘電特性故、現在の電子デバイスの主力キャパシタ材料として半世紀を超え用いられてきたが、すでに限界を迎えている。