2:00 PM - 2:15 PM
[13p-A405-4] FET mobility and width of DoS at surface and bottom interface of polymer films
Keywords:polymer, Photo-emission yield spectroscopy, Field-effect transistor
本研究では、大気中光電子収量分光を用いて高分子薄膜 [ポリ(3-ヘキシルチオフェン)]の表面と底面の状態密度分布を評価し、移動度との相関を調べた。SiO2/BCB絶縁膜を用いて評価したFET移動度は、薄膜表面で0.11 cm2/Vs、底面で4.6×10−3 cm2/Vsと20倍以上の差があった。それぞれの状態密度分布のガウシアンの幅σは0.16 eV、0.23 eVであり、薄膜底面で状態密度の分布がより広がっていることが確認された。