[13p-A408-1~16] 12.7 医用工学・バイオチップ

[13p-A408-4] 溶液プロセスによるバイオセンサ用TFTアレイのリーク特性の改善

〇栗谷川 翔¹、Phan Trong Tue²、廣瀬 大亮¹、下田 達也¹、高村 禅¹ (1.北陸先端大、2.東工大)

キーワード：溶液プロセス、酸化物TFT、リーク特性

本研究室では、溶液プロセスを用いたバイオセンサの切り替え用途としてのTFTアレイを開発してきた。従来の成果ではリーク電流最大値が大きいことが課題であり、この改善のためにゲート絶縁膜にLaTaO（La:Ta=3:7,0.2 mol/kg）溶液を使用してTFTアレイを作製した。作製したTFTのドレイン電流値は1 pA-10 µA（on/off比10⁷）、リーク電流の最大値は10 pA (V_G=10V)程度であり、従来の成果と比較してリーク電流最大値の2桁程度の改善を達成できた。