[13p-B410-1~10] レーザー誘起ナノ周期構造の研究の現状～どこまで分かっているのか？技術の展望はあるのか？

[13p-B410-8] レーザー誘起光還元プロセスを利用した金属ナノ周期パターニング

〇小野 篤史^1,2 (1.静大院工、2.静大電研)

キーワード：レーザープロセシング、光還元、金属

我々は，フェムト秒パルスレーザー照射時の光還元プロセスに伴う金属析出において，レーザー誘起ナノ周期構造と考えられる金属パターンが作製されることを発見した．レーザーフルエンスは約7.5mJ/cm^2であり，金属アブレーションのフルエンスよりも一桁以上低い．本講演では，レーザー光還元法に関するレビューと，我々の金属ナノ周期パターニング技術に関する最新の研究成果について発表する．