[14a-A401-1~5] 機能性酸化物のメモリデバイス応用とその物理解明に向けて

[14a-A401-4] 酸化物チャージトラップのメモリ応用

〇上沼 睦典¹、髙橋 崇典¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：チャージトラップ、酸化物

酸化物を用いたチャージトラップメモリの報告例を中心に、デバイス構造やメモリ特性について述べる。また、a-InGaZnOについて我々の研究についても紹介する。