[14a-B508-1~11] 7.1 X線技術

[14a-B508-6] 軸外物体を考慮したEUV多層膜ミラーの光学設計

〇相澤 駿介^1,2、豊田 光紀^1,2 (1.東北大学多元研、2.東京工芸大工)

キーワード：EUV顕微鏡

我々は、波長13.5nmの極紫外線(EUV)を用いた透過型EUV顕微鏡の開発をしている。この顕微鏡は、拡大光学系でSchwarzschildミラー(凹・凸2枚)と付加拡大ミラー(凹1枚)による2段拡大を採用することにより、空間分解能30nmが期待できる。本講演では、付加拡大ミラーの光学設計について報告する。