[14a-B508-1~11] 7.1 X線技術

[14a-B508-7] 2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索(4)

〇(M1)山下 正汰¹、陳 軍¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大院工)

キーワード：多層膜ミラー、幾何光学、収差論

高次高調波など先端の軟X線光源の利用では、直径が数mmの平行ビームを100nm以下のビーム径に集光する対物光学系が必要となる。我々は、2面の斜入射多層膜ミラー(斜入射角20-30°)からなる、対物光学系の開発を進めている。これまでの研究で、2つの球面ミラー(屈折力φ₁, φ₂)で構成した対物光学系を仮定し、正弦条件を満足し、軸外で発生したコマ収差を極小化する、4種類の実用設計解が存在することを見出した。本講演では、先に見出した設計解群で得る、コマ収差補正解を計算した結果を報告する。