11:00 〜 11:15
[14a-D305-7] 小型高エネルギーガスクラスターイオン源の開発とそのSIMS法への応用
キーワード:ガスクラスターイオンビーム、二次イオン質量分析法
本研究では、クラスターイオンビームの照射エネルギーを大きくすることで高質量の分子の収率がどのように変化するのかを調べるため、新たに小型高エネルギークラスターイオン源(最大印加電圧50kV)を開発し、高エネルギーArガスクラスターイオンによるSIMS測定を行った。
一般セッション(口頭講演)
7 ビーム応用 » 7.5 イオンビーム一般
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キーワード:ガスクラスターイオンビーム、二次イオン質量分析法