2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[14a-D411-1~7] 6.5 表面物理・真空

2020年3月14日(土) 10:00 〜 12:00 D411 (11-411)

光原 圭(立命館大)

10:15 〜 10:30

[14a-D411-2] フェイズ・フィールド法を用いた表面拡散による構造変化シミュレーション

須藤 孝一1 (1.阪大産研)

キーワード:構造変化、表面拡散、シリコン

シリコン基板上の微細構造を非酸化雰囲気で高温アニールすると、表面拡散によって微細構造が自発的に構造変化する。この高温アニールによる自発的構造変化は、様々なデバイス製造プロセスへの応用が期待されている。本研究では、フェイズ・フィールド法を用いた表面拡散による形態変化シミュレーションを行い、実験で観察されているトポロジー変化を伴う構造変化を再現することに成功した。