09:30 〜 11:30
[14a-PA4-2] SiO2, Si3N4膜へのアルカリ金属・ハロゲンイオンの透過障壁
キーワード:耐湿性、アルカリ金属、保護膜
本報告では、SiO2、Si3N4膜へのイオン(Li +、Na +、K +、F-、Cl-、Br-)の透過障壁を計算した。その結果、Li +およびNa +イオンはSiO2、Si3N4膜に容易に浸透し、K +イオンはH2O分子よりもSiO2膜に浸透し易いことが分かった。これによりアルカリ金属およびハロゲンイオンの耐湿性への効果が解析できた。