[14a-PB5-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[14a-PB5-7] 高電界下での加熱処理による走査型プローブ顕微鏡のための単原子終端探針の作製と評価

〇木下 博貴¹ (1.北陸先端科学技術大学院大学)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡の解像度は探針の鋭さと耐久性に依存する。本研究では鋭く、耐久性の高い探針を作製するためにタングステン探針に大気中でのレーザーアブレーションによってイリジウム薄膜を堆積させ電界イオン顕微鏡、電界放射顕微鏡による電界印加、加熱処理を行いその結果を観察した。また、窒素ガスを用いたイリジウム被覆タングステン探針の電界エッチングの実験結果も報告する。