[14p-A205-1~11] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[14p-A205-6] AIとロボットを融合した全自動・自律的薄膜合成システムの構築

〇清水 亮太^1,2、小林 成¹、安藤 康伸³、一杉 太郎¹ (1.東工大物質理工、2.JSTさきがけ、3.産総研)

キーワード：マテリアルズインフォマティクス、無機固体化学、薄膜物性

現代の物質科学では物質を探索する範囲が急拡大しており、効率的な新物質開発が強く望まれている。そこで我々は、AIとロボットを融合した新たなシステム開発に着手した。全自動搬送・成膜・評価を行う「ロボット部」と、その結果から逐次学習して成膜条件を予測・指示する「AI部」とから構成される。本発表では、透明導電体Nb:TiO₂をテストケースとして、AI-ロボットシステムの活用について報告する。