[14p-A305-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[14p-A305-1] [講演奨励賞受賞記念講演] Arイオン照射窒化ガリウム表面の塩素吸着層のイオンエネルギー依存性 (2)

〇長谷川 将希¹、堤 隆嘉¹、谷出 敦^1,2、近藤 博基¹、関根 誠¹、石川 健治¹、堀 勝¹ (1.名大、2.SCREENホールディングス)

キーワード：窒化ガリウム、原子層エッチング