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△ [14p-A305-11] ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討
キーワード:MEMS、加速度センサ、ピラー型電極
我々は、単一Au錘の3軸静電容量型MEMS加速度センサを検討している。今回、本研究で提案したピラー型電極を単一錘3軸MEMS加速度センサに適用するための基本検討を行った。ピラー型電極を用いた単一錘3軸加速度センサを提案し、設計・試作・評価した結果、印加加速度に対する静電容量変化を3軸全てにおいて確認した。ピラー型電極が単一錘3軸MEMS加速度センサに適用可能であることを確認した。