[14p-A305-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [14p-A305-11] ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討

〇(M2)渥美 賢¹、古賀 達也¹、市川 崇志¹、山根 大輔¹、飯田 慎一²、伊藤 浩之¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、加速度センサ、ピラー型電極

我々は、単一Au錘の3軸静電容量型MEMS加速度センサを検討している。今回、本研究で提案したピラー型電極を単一錘3軸MEMS加速度センサに適用するための基本検討を行った。ピラー型電極を用いた単一錘3軸加速度センサを提案し、設計・試作・評価した結果、印加加速度に対する静電容量変化を3軸全てにおいて確認した。ピラー型電極が単一錘3軸MEMS加速度センサに適用可能であることを確認した。