[14p-A305-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[14p-A305-13] 高温 Pt マイクロヒーターの開発

〇天本 百合奈¹、赤坂 俊輔¹、神野 伊策² (1.ローム、2.神戸大学)

キーワード：ガスセンサー、マイクロヒーター

高性能・低消費電力の小型酸素・湿度センサの実現に向け、薄膜 YSZ を用いた限界電 流式酸素・湿度センサの開発を進めている。この方式では、センサ駆動のために素子を 500℃以上に加熱する必要がある。本研究では、低消費電力で 500℃以上に昇温できる小型で安定な MEMS型マイクロヒーターを開発した。