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[14p-D311-8] 質量負荷効果を用いたワイヤレスSAWセンサのための素子認識方法
キーワード:弾性表面波
パッシブ弾性表面波(SAW)センサを複数用いる場合,個々のセンサを識別することが重要である.従来は反射電極パターンで識別することが多い.これに対し,本研究では,質量負荷による識別方法を提案する.具体的には質量負荷による遅延効果を利用する.摂動法による解析により膜材料の種類,厚さ,長さによりSAWセンサの認識が可能であることを示した.
一般セッション(口頭講演)
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キーワード:弾性表面波