[14p-D519-1~9] 6.5 表面物理・真空

[14p-D519-4] 光学顕微鏡等を用いた、基板上ナノ粒子分散状態の広域評価

〇重藤 知夫¹、加藤 晴久¹、時崎 高志¹ (1.産総研)

キーワード：ナノ粒子、光学顕微鏡、走査プローブ顕微鏡

ナノ粒子を展開した基板を顕微鏡観察する際、粒子が凝集せずバラバラでありながら高密度に分散している領域を探す必要があるが、高解像度であるがゆえに視野の狭い電子顕微鏡や走査プローブ顕微鏡では難しい。本講演では、光学顕微鏡を用いた粒子分散状態の広域評価法である「白色光斜上照射暗視野顕微法」を提案する。