[14p-PA1-1~74] 10 スピントロニクス・マグネティクス

[14p-PA1-37] スパッタ法により作製した(Ti,Co)O₂薄膜の磁気特性

〇山田 義春¹、筧 芳治¹、佐藤 和郎¹ (1.大阪技術研)

キーワード：強磁性半導体、酸化物

強磁性半導体の中で、酸化物を母体とした(Ti,Co)O₂は、透明であり、さらに室温で強磁性を示すことで注目されている。また、工業的に広く利用されているスパッタ法によってガラス基板上にルチル型(Ti,Co)O₂が作製できることも報告されており、産業応用も期待できる。本研究では、Hall移動度、キャリア密度の観点から電子材料としてより望ましい特性をもつアナターゼ型(Ti,Co)O₂を、スパッタ法により作製し、その磁気特性を調べたので報告する。