[14p-PB4-1~22] 8 プラズマエレクトロニクス

[14p-PB4-15] ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム薄膜の大気圧プラズマジェットを用いた横方向エッチング ～表面温度のプラズマ照射時間依存性～

〇平島 伊織¹、桑畑 周司¹ (1.東海大工)

キーワード：大気圧プラズマ、アルミニウム、エッチング

ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム(Al)薄膜へ大気圧プラズマジェットが照射された。
60分間のプラズマ照射後、Al薄膜は横方向へエッチングされた。
Al薄膜の表面温度がサーモカメラを用いて測定され、60分間照射後の表面温度は約66℃であった。