[15a-D215-1~12] 7.2 電子ビーム応用

[15a-D215-2] 電子 線バイプリズムを応用した高速振動現象のSEM可視化

〇江本 悠河¹、菊池 優¹、鄭 サムエル¹、増田 秀樹¹、伊藤 良一¹、藤田 淳一¹ (1.筑波大数理)

キーワード：電子顕微鏡、電子線バイプリズム

電子顕微鏡には、照射する電子線をパルス化することで高速現象を可視化する手法がある。我々はSEMにおいて、電子線バイプリズムに用いられる金属細線による周期的な偏向を用い、一次電子線をパルス化した。本講演では、その手法と共振するカンチレバーの静止位相画像が撮影できたことを報告する。