[15a-D419-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [15a-D419-11] PLD法で作製した正方晶(1-x)(Bi,Na)TiO₃-xBaTiO₃膜の評価

〇(M1)石濱 圭佑¹、舘山 明紀¹、清水 荘雄¹、佐藤 裕介²、山岡 和希子²、石田 未来²、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.TDK株式会社)

キーワード：非鉛圧電材料、強誘電体、薄膜

非鉛圧電材料である(1-x)(Bi,Na)TiO₃-xBaTiO₃はMPB組成近傍でよく研究されてきたが、他組成での研究報告数は未だ少ない。
今回我々は広い組成領域で(1-x)(Bi,Na)TiO₃-xBaTiO₃膜の作成に成功し、強誘電特性及び圧電特性を確認したためそれを報告する。