[15a-D419-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[15a-D419-8] マイクロ波加熱式水熱合成プロセスによる(K,Na)NbO₃厚膜の堆積

大倉 雅貴¹、伊東 良晴²、白石 貴久³、木口 賢紀³、今野 豊彦³、舟窪 浩²、〇内田 寛¹ (1.上智大、2.東工大、3.東北大)

キーワード：強誘電体、ニオブ酸カリウム、水熱合成

ニオブ酸カリウム（KNbO₃）を基としたペロブスカイト型酸化物固溶体は、優れた分極･圧電特性、高キュリー温度、低環境負荷といった顕著な特性を併せ持つ圧電材料として注目されるが、アルカリ金属成分の揮発により製造時に長期間に渡る高温での熱処理プロセスの採用が困難であり、これが材料利用の普及を妨げる一因となる。本問題を解決するため我々は水熱合成反応を利用した材料製造プロセスに着目し、これにマイクロ波加熱を導入することにより厚さ約10 umの(K,Na)NbO₃固溶体厚膜を低温かつ短時間のプロセスで製造したので、その結果を報告する。