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[15a-D419-9] Si 基板上エピタキシャル(K, Na)NbO3薄膜の結晶構造および圧電特性の組成依存性
キーワード:圧電薄膜、非鉛
(K,Na)NbO3 (KNN)は,高い圧電性とキュリー点を示すことから,非鉛圧電薄膜材料の有力候補として注目されている.従来の研究より,高い圧電性を得るためには,結晶配向性および組成を最適化させる必要がある.我々はこれまでに,Si基板上にKNN薄膜をエピタキシャ ル成長させることに成功した.本研究では,このK/Na組成の異なるKNN薄膜を作製し,その結晶構造および電気・圧電特性の評価を行った.