[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-PA5-15] β-Ga₂O₃ とAl₂O₃混合粉末の振動メカニカルアロイング

〇岸村 浩明¹ (1.防衛大学校材料)

キーワード：酸化ガリウム、メカニカルアロイング

酸化ガリウムと酸化アルミニウム混合粉末を室温水冷下で振動メカニカルアロイング処理した。モル比でそれぞれ１：１で混合した。処理された混合粉末はX線回折およびラマン散乱で評価した。処理時間を増やすにつれて粉末は密に接触しているが、1000時間以上の処理をしても、X線回折でのピークはかなりブロードになるだけで(GaAl)₂O₃化合物に起因するピークは確認できなかった。