[15a-PB4-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-PB4-9] シリコン基板を用いた簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池の作製

〇(M1)王 崢¹、家後 和美¹、Huynh Thi Cam Tu¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：薄膜太陽電池

p型結晶Si膜を光吸収層に使用するためのプロセスの確立を目的に、多結晶Si膜の代わりにp型Siウェハーを用いて、簡易構造の裏面電極型太陽電池を作製した。Sun-V_oc法により、pFF ~0.8のpseudo J–V曲線が得られており、作製したデバイスの正常動作を確認した。また、アニール後の試料ではV_ocが改善した。ITOスパッタによるパッシベーション性能の低下がアニールにより回復したと考えられる。p型Siを光吸収層として使用した場合でも、簡易裏面電極型太陽電池の作製が可能であることを実証した。