[15p-A403-1~6] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [15p-A403-5] ＡＦＭ－ＲＡＭＡＮによる高半導体純度カーボンナノチューブネットワークの構造解析

〇磯貝 和生¹、藤田 康彦²、村上 昌孝²、平井 孝佳¹、小林 康宏¹、村瀬 清一郎¹ (1.東レ、2.東レリサーチセンター)

キーワード：カーボンナノチューブ、AFM-ラマン、TFT

CNT-TFTの移動度向上に向け、実デバイスのCNTネットワーク構造の解明を目的に、TERSを原理としたAFM-RAMANによるnmオーダーでの構造解析を行った。実デバイスに近い状態での高半導体純度CNTネットワークの詳細な状態を初めて可視化でき、さらに金属型CNTは低結晶性であるとわかった。金属型CNTの除去は、金属型CNTによるデバイス短絡を単に抑制するだけでなく、低結晶性のCNTの低減により移動度向上に効果をもたらすことが示唆された