[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15p-D215-2] 3 nmレーザープラズマ軟X線によるリソグラフィー

〇天野 壯¹ (1.兵県大高度研)

キーワード：軟X線リソグラフィー、レーザープラズマ

開発した固体Arレーザープラズマ光源からの波長3.37nmの軟X線を、NiCr/V₂O₅多層膜がコートされた楕円ミラーでPMMA上に集光して、Niメッシュ(2000/inch)のコンタクトマスクによりリソグラフィー加工を行った。サンプル上での軟X線強度が約0.01 mJ/cm²の時、1000 shotsの露光でマスクに対応した微細構造が形成されてその深さは130 nmであった。