[15p-D311-1~8] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-D311-3] 繰り返し液相堆積SrTiO₃薄膜の誘電率向上の検討

〇百貫 将吾¹、荒川 太郎¹、羽路 伸夫¹ (1.横国大院工)

キーワード：液相堆積法、チタン酸ストロンチウム

我々はこれまで、低コストで低温プロセスであるSrTiO₃膜の製膜方法として液相堆積（Liquid Phase Deposition：LPD）法を検討し、SiO₂/Si上へのSrTiO₃薄膜合成に成功している。しかし、比誘電率は90程度で、ゾルゲル法などの他の製膜法を用いた場合と比較すると比誘電率が低いという問題があった。そこで、比誘電率の向上を図るため、堆積を2回に分けて行う繰り返しLPD法を提案し、本手法によって製膜したSrTiO₃の特性を評価したので報告する。