14:30 〜 15:00 [11p-N105-3] 非晶質ZnON膜からの固相結晶化ZnO膜の形成とシード層としての効果 〇板垣 奈穂1、沈 志遠1、御堂 雄大1、薮田 久人2 (1.九大シ情、2.九大CPNE)