11:00 〜 12:40 [22a-P08-9] スパッタリング形成薄膜の機能性向上のためのシミュレーションによる成膜過程再現 〇(M2)加藤 瑞葵1、杦本 敏司1、奥川 将行1、小泉 雄一郎1 (1.阪大院工)