16:00 〜 16:15 [13p-N101-12] アンモニアフリー高温有機金属気相成長法で成長したAlNヘテロエピタキシャル薄膜中の微細構造評価 〇沈 旭強1、松畑 洋文1、児島 一聡1 (1.産総研)