11:00 〜 11:15 [13a-N304-8] 集積シリコン量子素子に向けたネガレスト電子線リソグラフィ技術の構築 〇加藤 公彦1、柳 永勛1、村上 重則1、森田 行則1、森 貴洋1 (1.産総研)