13:35 〜 14:05 [13p-S202-2] 【注目講演】FBARを用いた高感度小型においセンサモジュールの開発 〇恩田 陽介1、佐藤 和紀1、高野 貴之1、坂下 武1、齋藤 彰1、宮﨑 正彦1、服部 将志1、西原 時弘1、伊藤 浩之2 (1.太陽誘電株式会社、2.東京工業大学)