14:00 〜 14:15 [10p-N103-2] 中赤外面発光型量子カスケードレーザに向けたフォトニック結晶作製技術検討 〇橋本 玲1、角野 努1、金子 桂1、斎藤 真司1、姚 遠昭2、池田 直樹2、間野 高明2、黒田 隆2、迫田 和彰2 (1.東芝生産技術センター、2.物質・材料研究機構)